اعلی درجہ حرارت ویکیوم اجزاء
گرمی کے علاج میں بنیادی طور پر آکسیکرن، بازی اور اینیلنگ کے عمل شامل ہیں۔آکسیڈیشن ایک اضافی عمل ہے جس میں سلکان ویفرز کو اعلی درجہ حرارت والی بھٹی میں رکھا جاتا ہے اور ان کے ساتھ رد عمل ظاہر کرنے کے لیے آکسیجن کو ویفر کی سطح پر سلیکا بنانے کے لیے شامل کیا جاتا ہے۔ڈفیوژن کا مقصد مادوں کو مالیکیولر تھرمل موومنٹ کے ذریعے اعلی ارتکاز والے علاقے سے کم ارتکاز والے علاقے میں منتقل کرنا ہے، اور ڈفیوژن کے عمل کو سلیکون سبسٹریٹ میں مخصوص ڈوپنگ مادوں کو ڈوپ کرنے کے لیے استعمال کیا جا سکتا ہے، اس طرح سیمی کنڈکٹرز کی چالکتا میں تبدیلی آتی ہے۔